2021年全球及中国半导体前道测试设备市场规模及市场格局分析：内半导体前道检测设备市场规模约为160.6亿元[图]

企业

简介

上海精测

公司现已形成了膜厚/OCD量测设备、电子束量测设备、泛半导体设备三大产品系列。公司产品线包括EFIM系列膜厚测量机、EPROFILE系列膜厚及OCD测量机、eView系列电子束检测设备，量测领域覆盖了适用范围最广的膜厚及OCD测量设备，检测领域覆盖了电子束检测及缺陷复查设备，产品覆盖领域较为齐全。其中，上海精测膜厚产品（含独立式膜厚设备）已取得国内一线客户的批量重复订单，上半年公司实现首台12寸晶圆外观缺陷检测设备交付，首台独立式OCD设备与ReviewSEM出机。

上海睿励

公司产品深耕量测领域，主要产品包括TFX3000系列膜厚量测设备，TFX3000OCD光学关键尺寸（OCD）和形貌测量系统，FSD300自动宏观缺陷检测系统及WSD200光学缺陷检测设备.今年上半年，公司新一代光学膜厚量测设备（TFX4000i）正式交付国内重要客户，高精度光学缺陷检测设备（WSD200）也交付国内知名客户，目前睿励自主研发的12英寸光学测量设备TFX3000系列产品，已应用在65/55/40/28纳米芯片生产线并在进行了14纳米工艺验证，在3D存储芯片产线支持64层3DNAND芯片的生产，并正在验证96层3DNAND芯片的测量性能，现正在开发下一代可支持更高阶芯片制程工艺的膜厚和OCD测量设备以及缺陷检测设备，公司股东包括中微公司（20.45%）、浦东科创（15.04%）、张江科投（11.13%）、国家大基金（8.78%）、上海创投（4.95%）、上海国盛（3.35%）等一众知名产业投资机构。

中科飞测

公司产品涉及量检测领域，具体分别为SKYVERSE-900三维封装量测系统、SPRUCE-600晶圆表面缺陷检测系列和智能视觉检测系统，其中公司的晶圆表面颗粒检测机成功进入中芯国际生产线，智能视觉检测系统成功进入长江存储生产线，椭偏膜厚量测仪进入士兰微生产线。

东方晶圆

公司产品涉及量检测领域，具体分别为SKYVERSE-900三维封装量测系统、SPRUCE-600晶圆表面缺陷检测系列和智能视觉检测系统，其中公司的晶圆表面颗粒检测机成功进入中芯国际生产线，智能视觉检测系统成功进入长江存储生产线，椭偏膜厚量测仪进入士兰微生产线。