生产工艺 | 操作温度 | 操作压力 | 能耗 | 转化率 | 其他特点 |
硅氢氯化法 | 330~380℃ | 0.05-3MPa | 200-400kW·h | 高 | 工艺较成熟,易于实现DCS自动化控制,风险性小、适合产业化生产、适合循环经济 |
四氯化硅氢化法 | 400~800℃ | 2-4MPa | 1000-1200kW·h | 高 | 适合多晶硅企业副产四氯化硅采用;气固反应,需间断操作;对硬件比如对阀门和管件的耐磨性要求相对较高。 |
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